Индустрия за абразиви и шлифовъчни инструменти Популярна наука

Химично отлагане на пари с гореща тел

 

Химичното отлагане на пара с гореща нишка (HFCVD) е процес за получаване на диамантени филми. Неговият основен принцип е да прекара смес от въглеродсъдържащ газ и водород в камера на реакционна пещ чрез отлагане на пари при ниско налягане при висока температура и да я разложи на въглеродсъдържащи активни групи и възбудени водородни атоми през гореща жица (волфрамова жица или молибденова тел) при висока температура, които след това се отлагат върху субстрата, за да образуват въглероден филм. (Абразиви и шлифовъчни инструменти Индустриална популярна наука)